废气处理

LWS型不锈钢硅烷燃烧洗涤塔

      我公司生产的LWS型不锈钢硅烷燃烧洗涤塔是处理硅烷、氨气及其他可 溶性气体的废气净化设备,主要用于处理太阳能电池生产线行业以及 PECVD化学气相沉积工艺所产生的 废气。
      本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组 成。在进气方面采用压缩空气加新风进气口双进风形式,提高产品运行效率 和可靠性。在喷淋系统方面,采用循环水泵与自动补水相结合的方法,风机 采用一用一备形式,这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保 证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置,即使在内部压力突然增大的情况下仍 能正常工作,同时配备了氮气入口,更加大了设备的安全性。在粉尘收集方 面采用静压沉积的方法,沉积下来的粉尘通过排渣口排出,这使粉尘收集处 理变得更容易、更有效。经权威部门实测,客户单位硅烷(SiH4)去除 率≥99.99%,氨气(NH3)以及其它水溶性气体的净化率高达99.99%。

       本产品技术性能指标达到国际同类产品先进水平,具有耐腐蚀性好、机 械强度高、净化效率高、安全性可靠、运行成本低、运行噪声低、操作维护 方便、结构设计合理等特点。

流程示意图:


工作原理 :

      本产品采用优质不锈钢板进行制造,根据硅烷与空气接触而自燃的特点,使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧,燃烧后的 气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室,经过喷雾处理,使废气与中和循环液接触反应,然后进入脱液器脱液处理后由抽风 机排入大气。

产品外形图 :

控制系统及注意事项:

·不锈钢硅烷燃烧净化塔必须保证负压200Pa以上。
·PECVD设备真空泵后面必须加装应急燃烧筒 (详见设备流程图)。
·不锈钢硅烷燃烧净化塔必须采用新工艺,双风机抽风,一用一备。
·风机进风口的电动调节阀必须与风机联动。
·风机进风口前必须加装碟阀,以控制硅烷燃烧净化装置内负压。
·硅烷燃烧净化装置新风补风口必须加装调节阀。
·进气管接口外1~1.5米处必须由可以拆装的连接口,以便清除燃烧箱杂物而可以拆除

产品安装尺寸及基础图: 

规格及技术参数表

规格及技术参数表

操作及维护保养

1. 设备安装结束后,在开机前必须先清除设备内部污物。
2. 根据工艺废气量加注中和液至所需范围。
3. 检查水泵运行是否正常,检查流量计情况是否正常。
4. 设备正常运行时,如果氨气浓度超标时,必须打开补水口阀门,补水量根据废气的浓度确定。设备停止后,补水口阀门
也关闭,以便节约用水。
5. SiO
2粉尘清除时,请打开清渣口清除杂物。
6. 更换填料及喷嘴时,打开检修孔即可。
7. 新风补气口是调节设备内部负压的关键部位。调节设备在补新风口上的阀门上调节,设备上的压缩空气口必须连接,有
条件的活氮气也必须连接。
8. 风机与水泵开关程序,开机时,先开风机后开水泵;关机时,先关水泵再关风机。
9. 设备的中和液每月彻底更换一次。
10. 设备内部的喷嘴及填料每三个月检查清洗一次。